|
MARK3系列是在未改變質(zhì)é‡æµé‡æŽ§åˆ¶å™¨æ‰€å¿…é ˆçš„å“質(zhì)特性的æ¢ä»¶ä¸‹å¾¹åº•å¯¦ç¾(xià n)æˆæœ¬é™ä½Žçš„é‡ç”¢(chÇŽn)產(chÇŽn)å“。æ質(zhì)和泄æ¼è¦(guÄ«)æ ¼å‰‡èˆ‡ä¸€èˆ¬åž‹è™Ÿç”¢(chÇŽn)å“çš„SEC-400ã€SEC-500系列完全一致。主è¦ç”¨é€”為制程用的氣體æµé‡æŽ§åˆ¶ã€æ ¹æ“š(jù)é‡é»žé—œ(guÄn)注于é‡å¾©(fù)性以åŠé™å®šæ°£é«”的種類ã€æµé‡é€²è¡Œå¤§é‡ç”Ÿç”¢(chÇŽn)ã€å¯¦ç¾(xià n)了大幅度的æˆæœ¬é™ä½Žã€‚最é©åˆäºŽå®šæµé‡ã€é•·æ™‚é–“çš„ç©©(wÄ›n)定控制é‡å¾©(fù)æŽ§åˆ¶çš„å ´åˆã€‚而且也åŒæ¨£é©ç”¨äºŽç ”究所的簡易æµé‡æŽ§åˆ¶ã€‚
在一般產(chÇŽn)æ¥(yè)ä¸ä¹Ÿæœ‰å¤§é‡çš„銷售記錄
-
追求æˆæœ¬å„ª(yÅu)å‹¢ã€å¯¦ç¾(xià n)æˆæœ¬é™ä½Ž
|
型號
|
SEC- (質(zhì)é‡æµé‡æŽ§åˆ¶å™¨)
|
E40/E40MK3
|
E50/E50MK3
|
|
SEF- (質(zhì)é‡æµé‡è¨ˆ)
|
E40
|
E50
|
|
é©ç”¨æ°£é«”種類*1
|
éžè…è•æ€§æ°£é«”(MK3型號é©ç”¨äºŽN2ã€O2ã€ç©ºæ°£ã€H2ã€Arã€He)
|
|
氣體接觸部æ質(zhì)
|
SUS316L.æ°ŸåŒ–æ©¡è† .PTFEã€ç£æ€§ä¸éŠ¹é‹¼
|
|
閥門型號
|
éžé€šé›»æ™‚　關(guÄn)é–‰
|
|
標準æµé‡é‡ç¨‹ (N2相應(yÄ«ng)F.S.)
|
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
|
20/30 SLM
|
|
æµé‡æŽ§åˆ¶èŒƒåœ
(é©äºŽSEC系列)
|
2?100% F.S.
|
|
æµé‡æ¸¬é‡èŒƒåœ
(é©äºŽSEF系列)
|
0?100% F.S.
|
|
響應(yīng)速度
|
1秒以內(nèi)(T98)
|
|
æµé‡ç²¾åº¦
|
±1% F.S.
|
|
直線性
|
±0.5% F.S.
|
|
å復(fù)性
|
±0.2% F.S.
|
|
工作差壓值值
(é©äºŽSEC系列)
|
10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)
|
|
使用壓力
(é©äºŽSEF系列)
|
300kPa(G)以下
|
|
è€ã€€å£“
|
1MPa(G)以下
|
|
外部泄æ¼çŽ‡
|
1×10-8Pa?m3/s(He)以下
|
|
使用環(huán)境溫度
|
5?50℃(精度的確ä¿ï¼š15?35℃)
|
|
æµé‡è¨(shè)定信號
|
0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
|
|
æµé‡è¼¸å‡ºä¿¡è™Ÿ
|
0?5VDC(最å°è² è·é›»é˜»2kΩ)
|
|
é©…(qÅ«)å‹•é›»æº
|
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
|
＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
|
|
標準接é *2
|
1/4SWL é¡žåž‹
|
|